產(chǎn)品介紹

微焦點(diǎn)平面CT檢測(cè)系統(tǒng)采用開放式微焦點(diǎn)X射線源、高靈敏度探測(cè)器和高精度機(jī)械運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，保證樣品檢測(cè)時(shí)的高空間分辨率和精確的運(yùn)動(dòng)定位精度，重構(gòu)出掃描區(qū)三維斷層圖像，可以在離線、線邊和在線應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)對(duì)板狀結(jié)構(gòu)檢測(cè)器件及板狀電器器件缺陷分析和制造缺陷的空間定位與檢測(cè)。

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)

（1） Microfocus的X射線管技術(shù)，檢測(cè)缺陷可達(dá)2μm。

（2） 射線源自動(dòng)強(qiáng)度控制 (AIC) 以確保連續(xù)工作射線的穩(wěn)定性。

（3） 具備檢測(cè)區(qū)域大、分辨率強(qiáng)、放大倍率高等特點(diǎn)。

（4） 大尺寸板狀樣品無(wú)需破壞，仍可獲得高分辨率。

（5） 預(yù)設(shè)ADR（自動(dòng)缺陷識(shí)別）擴(kuò)展接口，根據(jù)客戶的特定需求開發(fā)特定的軟件算法，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)缺陷識(shí)別檢測(cè)功能。

（6） 圖像處理軟件具備HDR處理功能，可以輕松實(shí)現(xiàn)在X射線成像中將低密度材料從高密度材料中解析，使最細(xì)微的缺陷也能被一一檢測(cè)。